50kW射频功率源及配套阻抗调配系统招标公告

招标编号：IPP-20200400623

一、信息发布单位

中国科学院合肥物质科学研究院(等离子体物理研究所)

二、标的内容

50kW射频功率源     1台

配套阻抗调配系统   1套

三、技术参数

3.1、50kW射频功率源技术参数 ：

3.1.1、工作频率：13.56、27.12MHz双频率；

3.1.2、频率精度：±1Hz；

3.1.3、额定输出功率：50kW，稳态运行；

3.1.4、输出功率范围：额定功率的1%～100%，连续可调；

3.1.5、功率稳定度：≤±0.5%；

3.1.6、最大输出功率裕度：总功率的20%；

3.1.7、满功率效率：>80%；

3.1.8、控制变量：输出功率闭环控制；

3.1.9、输出信号波形：标准正弦波；

3.1.10、输出阻抗：50Ω；

3.1.11、承受驻波比：驻波比≤3时能输出额定功率；

3.1.12、谐波输出：二次谐波低于-50dB，三次及更高次谐波低于-55dB；

3.1.13、噪音输出：低于-55dB；

3.1.14、供电电压：三相：AC380V±10%，50Hz；

3.1.15、环境温度：-15℃～40℃；

3.1.16、相对湿度：<85%；

3.1.17、冷却：功率源自带闭环冷却循环系统，并带有二次冷却水接口；

3.1.18、阻抗调配：将负载阻抗调配至50欧姆，满足50kW满功率连续运行；

3.1.19、操作模式：射频功率源要求具有现场本地操控方式和远程计算机操控方式，自带上位机操作软件；

3.1.20、控制接口：（a）高低电平控制电源开关功能，定义：高电平开，低电平关；（b）模拟量控制射频功率输出，定义：0～10V对应功率0～50kW；

3.1.21、测量接口： （a）入射功率测量（精度<1%），定义：功率输出0～50kW对应0～10V； （b）反射功率测量（精度<1%），定义：功率输出0～最大反射功率对应0～10V； （c）输出电压电流测量，定义：0～最大输出电压对应0～10V，0～最大输出电流对应0～10V； 

3.1.22、反射系数检测，要求能测量入射电压和反射电压，定义：0～最大入射电压对应0～10V，0～最大反射射电压对应0～10V； 

3.1.23、驻波比测量。 

3.2、配套阻抗调配系统技术参数：

3.2.1、最大传输功率：50kW；

3.2.2、工作频率：13.56、27.12MHz双频率；

3.2.3、匹配方式：手动匹配；

3.2.4、运行模式：满功率连续稳态运行；

5、输入阻抗：50欧姆；

3.2.6、调节电容：可调真空电容；

3.2.7、负载阻抗范围：(10 – 80) + j(-20 - 10)欧姆；

3.2.8、调配要求：将负载阻抗调配至50欧姆，满足50kW满功率连续运行；

3.2.9、状态监测：实时显示调配系统内所有电容的电容值、电容的实时温度；

3.2.10、通讯接口：电容值以0-10V信号线性关系输出，电容温度以K型热电偶信号输出；

3.2.11、冷却方式：风冷或水冷，确保系统可以满功率稳态运行；

3.2.12、故障连锁保护：电容温度超过容许温度后，须发出报警信号。

四、完成时间及地点

4.1完成时间：合同签订后6个月内供货。

4.2项目地点：等离子体所

五、投标须知

5.1资格审查办法：资格后审 

5.2投标人资格条件： 

5.2.1  符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定。 

5.3供应商存在以下不良信用记录情形之一的，不得推荐为中标候选供应商，不得确定为中标供应商：

1）供应商被人民法院列入失信被执行人的；

2）供应商或其法定代表人或拟派项目经理（项目负责人）被人民检察院列入行贿犯罪档案的；

3）供应商被工商行政管理部门列入企业经营异常名录的；

4）供应商被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单的；

5）供应商被政府采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单的。 

5.4本项目不接受联合体投标；

5.5投标文件一正一副，开标信封一正，分别单独密封，标书的封面上要注明投标的项目名称、投标人名称等必要信息。 

5.6电子版招标文件与纸质版招标文件一致，均具有同等法律效力。

5.7投标保证金：无

5.8报名截止时间： 2020年7月3日14：00时

    报名资料：单位介绍信或法人代表授权委托书原件、被授权人身份证原件及复印件、企业法人营业执照复印件、合法项目授权书原件(代理商提供)。

     投标截止时间：2020年7月8日14:00时

     开标地点：等离子体物理研究所四号楼319会议室

5.9招标文件售价：标书费伍佰元整（CNY500.00元），售后不退。

报名（标书）费可通过银行转账办理，银行账号信息如下：

户名全称：中国科学院合肥物质科学研究院

开户行：工行合肥董铺支行

帐号：13020 11909 26890 0027

国税号：121000007178068020 

六、评标办法

综合评分法：综合评分法是指在最大限度地满足招标文件实质性要求前提下，按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后，以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法。

七、联系方式

联 系 人：宋老师   卢老师

Tel / Fax ：0551-65595019 

电子信箱：jcht@ipp.ac.cn                单位网址：www.ipp.cas.cn

通信地址：安徽省合肥市蜀山湖路350号4号楼1126信箱       邮政编码：230031

温馨提示：

（1）快递地址：合肥市蜀山区蜀山湖路350号（西郊科学岛），四号楼321室。

（2）邮寄/快递投标文件应选择直接送达方式，延误或不按要求密封的投标文件将被原封不动的退回！

（3）本招标公告在安徽招标投标信息网（http://www.ahtba.org.cn/main/)、中国科学院等离子体物理研究所网（http://www.ipp.cas.cn/)同时发布。